엔지니어링 및 장비

TCU (Temp Control Unit)​

Summary​

LCD 제조 공정 중 전공정 설비의 일부로서 노광설비 투입 전에 불규칙한 기판의 온도를 일정하게 제어하는 장치이다.

Characteristic​

장비 구성은 TCU와 RFU로 되어있으며 ACU에서 온도와 풍량을 제어하여 각각 UNIT에 일정한 온도의 AIR를 공급하고, 정밀한 온도 제어가 가능하다.

Specification

  • 온도범위 : 20℃~25℃​
  • 풍량 : 60~200 CMM ​
  • 온도 정밀도 : ±0.05℃​
  • 전원 : 3상 208V 60/50Hz ​
  • 주요부속 : 냉동Unit, Heater, Blower, ULPA Filter​
  • 안전장치 : ​온도 과열방지,​ 과부하 차단,누수 감지, 냉동 온도이상 감지,​ 냉매 고/저압 이상감지​