TCU (Temp Control Unit)
Summary
LCD 제조 공정 중 전공정 설비의 일부로서 노광설비 투입 전에 불규칙한 기판의 온도를 일정하게 제어하는 장치이다.
Characteristic
장비 구성은 TCU와 RFU로 되어있으며 ACU에서 온도와 풍량을 제어하여 각각 UNIT에 일정한 온도의 AIR를 공급하고, 정밀한 온도 제어가 가능하다.
Specification
- 온도범위 : 20℃~25℃
- 풍량 : 60~200 CMM
- 온도 정밀도 : ±0.05℃
- 전원 : 3상 208V 60/50Hz
- 주요부속 : 냉동Unit, Heater, Blower, ULPA Filter
- 안전장치 : 온도 과열방지, 과부하 차단,누수 감지, 냉동 온도이상 감지, 냉매 고/저압 이상감지
