IN-LINE AUTOCLAVE
Summary
본 장비는 TFT-LCD제조 공정 중 편광 필름이 부착된 Panel에 온도와 압력을 가하여 기포를 제거 하는 장비이다.
Characteristic
Loader부에서 적재된 Panel은 동시에 압력용기에 투입되며 Autoclave 공정이 이루어지며, 공정이 완료 되면 Panel이 동시에 Unloader에 배출되어 이후1장씩 다음 공정으로 이송된다.
Specification
- 온도범위 : 40℃~60℃
- 압력범위 : 0~6Kg/㎠
- 온도 제어 정밀도 : ±0.1℃
- 압력 제어 정밀도 : ± 0.1Kg/㎠
- Uniformity :50℃ ±3 ℃
- 전원 : 3상 208V 50/60Hz
MANUAL AUTOCLAVE
Summary
본 장비는 TFT-LCD제조 공정 중 편광 필름이 부착된 Panel에 온도와 압력을 가하여 기포를 제거 하는 장비이다.
Characteristic
Cassette나 Tray에 적재된 Panel을 Autoclave에 일괄 투입하여 한번에 공정 처리를 할 수 있으며, Cassette 물류라인에 설치하여 자동화 적용도 가능하다.
Specification
- 온도범위 : 40℃~60℃
- 압력범위 : 0~6Kg/㎠
- 온도 제어 정밀도:±0.1℃
- 압력 제어 정밀도: ± 0.1Kg/㎠
- Uniformity :50℃ ±3 ℃
- 전원 : 3상 208V 50/60Hz
