IR DRY FURNACE_LCD
Summary
LCD 제조 공정 중 전공정 설비로서 TFT/CF 각 공정의 처리 후 기판의 가열,건조하는 장치이다.
Characteristic
IR HEATER의 채용으로 수명이 반영구적이며, 청정한 상태로 공정이 이루어지고 효율이 우수하다.
Specification
- 온도범위 : 80℃~200℃
- Uniformity : ±3 ℃
- 온도 제어정밀도 : ±0.1℃
- 전원 : 3상 208V 50/60Hz
- 급기/배기 System 적용
- 청정도 : 100 Class
- Conveyor speed : 0 ~ 3000mm/min
IR BAKE FURNACE
Summary
LCD 제조 공정 중 전공정 설비로 TFT/CF 각 공정의 처리 후 기판의 가열,건조하는 장치이다.
Characteristic
IR HEATER의 채용으로 수명이 반영구적이며, 청정한 상태로 공정이
이루어지고 효율이 우수하다.
상공설치가 가능하여 공간 활용에 효율적이다.
Specification
- 온도범위 : 80℃~250℃
- Uniformity : ±3 ℃
- 온도 제어정밀도 : ±0.1℃
- 전원 : 3상 208V 50/60Hz
- 급기/배기 System적용
- 청정도 : 100 Class
- Conveyor speed : 0 ~ 3000mm/min
