TCU (Temp Control Unit)
概要
作为 LCD制作的前工程的一部分，将投入曝光机之前的不规则的 基板的温度，进行控制，使其温度保持均一性的设备。
特征
设备由 TCU和 RFU构成，在ACU中进行温度和风量的控制， 从而将特定温度的AIR供给给各个UNIT，并能实现精确温度控制.
Specification
- Temp Range : 20℃~25℃
- 风量 : 60~200 CMM
- 温度精确度 : ±0.05℃
- 电源 : 3相 208V 60/50Hz
- 主要部署 : 冷冻Unit, Heater, Blower, ULPA Filter
- 安全装置 : 温度高温防止装置, 高负荷切断，漏水感知装置. 温度异常Sensor, 冷媒 高/低压Limit Sensor
